加热实验室压力机通过协调特定的热压环境来实现这种平衡,在该环境中,温度和压力会引起层间玻璃陶瓷元件的相互渗透。这会形成永久性粘合,同时小心地限制力以保持空心内部特征的完整性。
LTCC层压的关键挑战在于形成永久性粘合,同时保留流动通道等内部空间。成功取决于优化停留时间参数,以确保压力足够高以消除层间界面并防止分层,但又足够受控以避免压碎内部支撑薄弱的结构区域。
粘合的力学原理
玻璃陶瓷相互渗透
加热压力机的主要目标是将不同的生带层融合成一个整体块。通过施加热量(通常约为 70 °C)和压力(约 22 MPa),机器会软化生带中的有机粘合剂。
消除界面
这种“热压”将玻璃陶瓷颗粒压过堆叠层的边界线。这种相互渗透至关重要;它消除了层之间的物理界面。
防止分层
如果这种界面消除不完全,基板将在后续的烧结过程中失效。足够的压力可确保层充分结合,在陶瓷在烧结过程中形成刚性结构时抑制分层。
保护内部几何形状
流动通道的挑战
虽然高压有利于粘合,但对于具有内部流动通道或波导的复杂设计来说,高压是危险的。这些区域缺乏基板实体部分中的内部支撑。
控制停留时间参数
为了保护这些通道,压力机利用优化的停留时间参数——保持压力和温度的特定持续时间。通过严格限制最大压力施加的时间,压力机可防止通道壁塌陷。
理解权衡:压力机选择
单轴与等静压
对于复杂的几何形状,施加的力的类型与力的大小同样重要。等静压从所有方向施加压力,这可能对空腔有害。
最小化边缘变形
对于具有预制腔(如天线阵列)的基板,通常首选单轴加热实验室压力机。由于压力沿单个垂直方向施加,与等静压方法相比,它对腔体边缘的变形要小得多。
保护波导
这种方向控制对于保持波导几何形状的精确尺寸至关重要。单轴压制可确保 3D 微结构保持其设计规格,而不是在全方位压力下向内翘曲。
为您的目标做出正确选择
要获得无缺陷的 LTCC 基板,需要根据设计的复杂性优先考虑特定参数。
- 如果您的主要重点是粘合强度:确保您的压力设置足够(例如,22 MPa),以促进玻璃陶瓷相互渗透并防止烧结分层。
- 如果您的主要重点是空心通道的结构完整性:严格优化您的停留时间参数以限制压力持续时间,防止内部支撑薄弱区域的塌陷。
- 如果您的主要重点是腔体的几何精度:使用单轴压力机而不是等静压设备,以最大限度地减少波导和 3D 微结构的边缘变形。
层压的精度不仅在于力的大小;还在于在正确的时间以正确的方向施加正确的力。
总结表:
| 参数 | 在 LTCC 层压中的作用 | 对最终基板的影响 |
|---|---|---|
| 温度(约 70°C) | 软化有机粘合剂 | 促进玻璃陶瓷相互渗透 |
| 压力(约 22 MPa) | 消除层间界面 | 防止烧结过程中的分层 |
| 停留时间 | 控制力的持续时间 | 保护空心通道免受塌陷 |
| 压力机类型 | 单轴与等静压 | 单轴压制可最大限度地减少腔体边缘变形 |
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参考文献
- Eszter Horváth, Gábor Harsányi. Optimization of fluidic microchannel manufacturing processes in low temperature co-fired ceramic substrates. DOI: 10.3311/pp.ee.2010-1-2.08
本文还参考了以下技术资料 Kintek Press 知识库 .
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