甘油之所以优于石蜡，主要是因为其在高温溅射过程中的热稳定性更佳。虽然两种物质都能有效地作为压制润滑剂来压实硬质钨粉，但甘油可以防止在受热时与石蜡相关的材料“飞溅”问题，从而确保更平滑、更可靠的涂层工艺。
关键的区别不仅在于粉末在压制过程中的表现，还在于靶材在使用过程中的表现。甘油可防止引起缺陷的加热引起的失稳，确保连续溅射和均匀的薄膜层。
稳定性在靶材形成中的作用
超越初始压制
任何压制助剂的主要功能是润滑硬质金属粉末（如钨），从而实现更好的压实。
甘油和石蜡都能实现这一初始的机械目标。然而，压制助剂的工作在靶材形成后并不会结束；其残留物会与溅射过程相互作用。
石蜡的问题
石蜡在暴露于高功率溅射的极端条件下时，稳定性较低。
当靶材在运行过程中加热时，石蜡残留物可能会变得不稳定。这种不稳定性经常导致材料飞溅，即颗粒不可预测地被弹出，而不是均匀地溅射。
对薄膜质量的影响
防止缺陷
石蜡引起的飞溅是最终薄膜产品缺陷的主要来源。
甘油在这些加热条件下保持其稳定性。通过消除飞溅，它确保薄膜结构的完整性不会因 the erratic particle ejection 而受到损害。
确保均匀性
一致性对于有效的溅射至关重要。由于甘油可防止热引起的干扰，因此可实现连续溅射。
这种连续性产生了均匀的均匀薄膜形成，这是钨靶材的最终质量指标。
理解权衡
劣质助剂的风险
选择错误的压制助剂会产生隐藏的风险，该风险仅在昂贵的溅射阶段才会显现。
虽然石蜡最初可能有效地结合粉末，但后续的后果包括生产周期中断以及由于杂质或结构缺陷而导致的薄膜批次被拒。
运营效率
使用甘油是防止工艺中断的预防措施。
它降低了停止高功率工艺以解决不稳定性问题的风险，从而优化了生产线的整体效率。
为您的目标做出正确的选择
为确保您的钨溅射工艺获得最高质量的结果，请考虑以下几点：
- 如果您的主要关注点是薄膜纯度：优先选择甘油，以消除飞溅引起的薄膜缺陷的风险。
- 如果您的主要关注点是工艺稳定性：选择甘油，以确保在高功率加热条件下连续、不间断的溅射。
通过选择正确的压制助剂，您可以在溅射工艺开始之前就确保最终产品的质量。
摘要表：
| 特征 | 甘油（首选） | 石蜡（标准） |
|---|---|---|
| 热稳定性 | 高（保持完整性） | 低（变得不稳定） |
| 溅射效果 | 连续且均匀 | 易发生“飞溅” |
| 薄膜质量 | 高（无缺陷） | 存在结构缺陷风险 |
| 工艺产量 | 高效率 | 可能导致批次被拒 |
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参考文献
- B. Lommel, V. Yakusheva. Natural and enriched tungsten as target for heavy ion experiments. DOI: 10.1051/epjconf/202532701004
本文还参考了以下技术资料 Kintek Press 知识库 .
