太阳能电池单/双工位手套箱（集成净化与层流系统）

产品概述

该高性能多工位手套箱系统集成了一个独立的双工位单元和一个单工位单元，通过精心设计的 T 型大、小过渡舱互联。设备专为单侧操作设计，在闭环气体净化柱的支持下，提供不间断的密封处理环境。通过在标准运行参数下将水氧浓度保持在 0.1 ppm 以下，该系统可为敏感的合成与组装工作流程提供超洁净的氮气或氩气惰性环境。

该工作站专为下一代太阳能电池制造、钙钛矿研究、有机光伏 (OPV)、薄膜沉积及锂电池原型设计而开发，支持复杂的多步工艺，且无需担心大气污染。结构布局允许在箱体凹槽侧直接集成真空沉积或热蒸发接口，从而实现涂层与组装阶段之间平滑的基板传输，避免接触环境空气。

设备采用厚壁 304 不锈钢制造，配备精密加工的法兰视窗和自动化 PLC 监控，具有卓越的操作稳定性和极低的泄漏率。高效空气过滤、动态箱体压力调节及集成闭环冷却系统的结合，确保了在严苛的连续研究和中试规模工业制造过程中的工艺一致性。

主要特点

• 双舱互联架构： 拥有一个 1800 mm 双工位箱体和一个 1220 mm 单工位箱体，通过高真空 T 型过渡舱连接，支持双向基板传输，并可针对涂层、组装和测试进行专门分区。
• 超纯气体净化单元： 单柱净化系统装填 5 kg 铜催化剂和 5 kg 分子筛，具备高容量去除能力（60 L O2，2 kg H2O），可靠地将基准杂质保持在 0.1 ppm 以下。
• 集成蒸发系统接口： 左侧箱体设有专门的内部凹槽和专用真空接口，可将标准热蒸发或薄膜涂层系统直接安装至惰性工作空间。
• ISO 4 级下送风层流过滤： 顶部安装的洁净室过滤单元采用 H13 至 U15 HEPA/ULPA 过滤器和可调风机（面风速 0.2 至 0.45 m/s），提供符合美国联邦标准 FED STD 209E 10 级的无尘层流条件，并具备连续压差监控。
• 独立集成冷却系统： 内置 1050 W 闭环制冷单元，配备落地式分体旋转压缩机，在隔离机械振动的同时，将手套箱内部温度控制在 15°C 至 36°C 之间，精度达 1°C。
• 高精度多端口过渡舱： 包括一个带有三门垂直升降机构的自动化 T 型大过渡舱、一个手动 T 型小过渡舱，以及一个外部小型过渡舱，可在不污染已连接模块的情况下快速引入物料。
• 智能西门子 PLC 自动化： 高分辨率触摸屏界面可管理自动再生循环、自动吹扫程序、箱体压力平衡（±15 mbar 工作范围，±16 mbar 自动保护）及实时数据记录。
• 在线分析仪表： 配备超灵敏氧化铝陶瓷薄膜水分传感器和电化学氧分析仪，提供 0.1 ppm 分辨率，并在 0 至 1000 ppm 范围内支持可编程限值报警。
• 有机溶剂蒸汽吸附： 快速更换式有机溶剂蒸汽阱可捕获电解液处理或旋涂过程中产生的有害挥发性有机化合物 (VOCs)，从而保护催化净化床。
• 密封结构与人体工程学： 采用 3 mm 拉丝 304 不锈钢、8 mm 钢化安全玻璃倾斜视窗、一体化加工密封法兰、铝制手套口及优质 32 英寸丁基橡胶手套，确保操作舒适无疲劳。

应用领域

技术规格

为何选择本产品

• 工程化工作流连续性： 通过多门 T 型过渡舱连接的双工位和单工位箱体的特殊组合，实现了清晰的工艺隔离——在单一统一的占地空间内分离化学制备、溶剂处理和敏感热涂层工艺。
• 毫不妥协的大气完整性： 高等级 3 mm 不锈钢结构、精密 O 型圈法兰加工视窗及自动阀门歧管，实现了 ≤0.001 vol%/h 的极低泄漏率，即使在连续多用户操作下也能保证 0.1 ppm 以下的水氧基准。
• 集成微气候与洁净度： 与标准手套箱不同，本系统集成了 ISO 4 级层流下送风系统和 1050 W 减震制冷单元，有效防止了敏感基板处理过程中的空气颗粒缺陷和热对流波动。
• 薄膜镀膜机直接兼容： 工厂加工的左侧凹槽和标准化真空法兰消除了第三方改造需求，允许热蒸发器和磁控溅射单元直接对接，实现无缝真空传输。
• 智能诊断与可追溯性： 西门子支持的自动再生、气体吹扫控制、实时传感器数据记录及可编程限值报警，确保了工艺的可重复性，并能轻松符合学术和工业质量标准。

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